[News] "Smart Cut": la corrosion comme outil de coupe de précision dans le silicium

[Adrien]

Des scientifiques de l'Institut Fraunhofer de techniques de fabrication et de recherche appliquée sur les matériaux (IFAM) de Brême, de l'Institut Fraunhofer de mécanique des matériaux IWM de Fribourg-en-Brisgau (Bade-Wurtemberg), de l'Université de Brême, de l'Institut de technologie de Karlsruhe (KIT, Bade-Wurtemberg) et du King's College de Londres, réunis dans le projet de recherche européen ADGLASS, ont réussi pour la première fois, grâce à une nouvelle technique de simulation,...

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[buck]

Il me semblait que le nom de smart cut etait protege, par SOITEC dont le nom n'est pas site en plus ... meme si on fait mention du SOI.
Par contre ils parlent de decoupe du silicium, certe mais sur quel axe ? si c'est pour la decoupe plan a plan, c'est deja le procede de SOITEC , utilise et developpe depuis plus de 10 ans...
si c'est pour la decoupe ytpe de puce, donc dans l'epaisseur du materiaux ils ne sont pas sortis de l'auberge, l'epaisseur etant de 800µm

[benjihg]

c'est bien la technique qui sert à faire des SOI et autres sandwichs de matériaux cristallins, mais on parle de comprendre la technique qui est utilisé depuis quelques années, c'est pas parce que ca marche qu'on sait pourquoi

le smart cut se réalise suivant un plan cristallin, pour la découpe de puce sur plusieurs centaines de µm, il faudrait pouvoir implanter l'hydrogène depuis la tranche, et la c'est pas gagné

[buck]

Yep mais des 2002 au moins les gens de soitec essayaient de comprendre comment ca marche, mais sans passer par ces outils la. Ils passaient deja par l'identification du profil par simulation Monte Carlo, puis par la diffusion des profils de defauts cristallins et la generation des defaut etendus et leur croissance. Les modeles de diffusion tant chez Silvaco que chez Synospsys sont valables des 2004 (pas forcement avec l'hydrogene en place, mais au moins pour les defauts oui, j'ai bosse dessus).
Alors ok les gens de Fraunhofer and Co ont developpes des outils specifiques et nettement plus precis mais de la a dire qu'avant eux on ne savait rien j'ai un leger doute ;)

[StarDreamer]

Je pense que les outils utilisés auparavant étaient basés sur des données empiriques génératrices d'abaques.

Avec la modélisation du phénomène, ces modèles empiriques pourront être affinés.

[Roroleblaireau]

Je pense que les outils utilisés auparavant étaient basés sur des données empiriques génératrices d'abaques.

Avec la modélisation du phénomène, ces modèles empiriques pourront être affinés.

L'équation qui affine l'empirique c'est de la fantaisie ! Le facteur qui ne sera jamais pris en compte dans un calcul (autrement qu'en y introduisant de l'empirique), c'est bien le réel, et toutes les imperfections qui le compose.

[buck]

Je pense que les outils utilisés auparavant étaient basés sur des données empiriques génératrices d'abaques.

Avec la modélisation du phénomène, ces modèles empiriques pourront être affinés.

L'équation qui affine l'empirique c'est de la fantaisie ! Le facteur qui ne sera jamais pris en compte dans un calcul (autrement qu'en y introduisant de l'empirique), c'est bien le réel, et toutes les imperfections qui le compose.

tu nous fait du passant la ? ;) parce que bon la modelisation sert a approcher le reel, et dans certains cas est meme predictive
Star Dreamer: ce n'est pas trop empirique ce que j'ai mentionne ;) ca recupe pas mal de manip experimentales

[Roroleblaireau]

Ce n'est pas trop empirique [...] ca recupe pas mal de manip experimentales

Et toi tu nous fais du Van Damme ? Les données empiriques proviennent de manip expérimentales !

La modélisation sert effectivement à approcher le réel, alors que l'empirique observe le réel et s'en inspire.

[buck]

s'en inspire :-D :D :D
L'empirique reprend les donnees experimentales et fourni en general des abaques, ou des modelisations assez grossieres.
La modelisation part de la physique pour modeliser le reel, les manip servant de validation et aussi d'ajustement du modele.
Plus on affine les donnees experimentales plus on peux pousser loin la modelisation.
Ici sur ce que j'ai parle: on part de simulation de type monte carlo pour simuler le trajet des ions et atomes d'hydrogene dans le silicium. Ces simulations sont basees sur les trajets des atomes en fonction des pouvoir stopant des atomes de silicium, plus le deplacement des atomes de silicium dans le maillage atomique (1 0 0 ou 1 1 1 en general)

Le deplacement des atomes de silicium donnent les zones de creations d'interstitiels et de lacunes dans le maillage atomique.

Ensuite la diffusion: le modele sur lequel j'ai bosse permet de suivre en temps reel le deplacement de tous les atomes en fonction de la temperature, atomes mais aussi les defauts atomiques. Ces regles de deplacement (base sur des loi d'Arrehenius) sont issu de simulations quantiques et aussi d'ajustement des coefficients (calibrage) sur des manip experimentales specifiques ou on genere certains type de repartitions d'atomes et on suit leur evolution dans le temps. Les manip ne servant qu'a posteriori pour valider les hypotheses