[News] Des microcapteurs en quartz intégrés sur silicium
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Redbran
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[News] Des microcapteurs en quartz intégrés sur silicium
Afin d'améliorer les performances des microsystèmes piézoélectriques en quartz, une équipe de l'Institut d'électronique et des systèmes a développé un procédé qui combine le dépôt chimique en solution, la nanoimpression et la microfabrication sur silicium pour créer des capteurs intégrés de force et de masse à haute sensibilité. Ces résultats ouvrent la voie à une nouvelle famille de micro balance en quartz plus efficace que celle actuellement disponible sur le marché.
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