[News] Des microcapteurs en quartz intégrés sur silicium

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Redbran
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[News] Des microcapteurs en quartz intégrés sur silicium

Message par Redbran » 07/06/2021 - 13:00:10

Afin d'améliorer les performances des microsystèmes piézoélectriques en quartz, une équipe de l'Institut d'électronique et des systèmes a développé un procédé qui combine le dépôt chimique en solution, la nanoimpression et la microfabrication sur silicium pour créer des capteurs intégrés de force et de masse à haute sensibilité. Ces résultats ouvrent la voie à une nouvelle famille de micro balance en quartz plus efficace que celle actuellement disponible sur le marché. Le développement des applications des matériaux piézoélectriques, en particulier des capteurs, passe par leur intégration dans les technologies du silicium. Pour réaliser un dispositif intégré...
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