La racine de l'occitan mas est le latin mansus, participe passé de maneo, séjourner (demeurer, rester), qui est aussi à l'origine de « maison » (mansio, -onis : le terme « mas » dérive de l'accusatif singulier mansionem en raison de l'abandon des autres cas fors le nominatif dans le bas latin), « manoir » et « manant » (en plus de l'ancien français « mes », meis, mais).
Dès le début, le terme paraît s'être appliqué aux locaux d'habitation et aux bâtiments à vocation agricole, auxquels s'ajoutent les dépendances telles que jardin, cour et verger.
Le droit seigneurial donna un sens plus étendu à mansus que les historiens rendent par le terme de « manse » : le mansus était l'unité d'exploitation imposable, c'est-à-dire la superficie agricole exploitée (champs, prés, vignes).
À la fin du bas Moyen Âge (XV siècle), dans les montagnes de la Basse-Auvergne (~Sud Aveyron actuel), certains mas s'étaient agrandis pour former un hameau (à ne pas confondre avec la commune). Ce n'est qu'à partir du XVIII siècle qu'on les a donc appelés hameau.
Dans le Quercy, le Cantal, en Limousin et en Périgord, aux XIV-XVIII siècles, le mot a aussi le sens général de hameau, d'ancienne communauté possédant en indivis. Le mot a donné de nombreux lieux-dits.
Par transposition, le nom a été donné à des constructions plus récentes, en Provence en particulier .