| Hexafluorure de tungstène | |
|---|---|
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| Général | |
| Nom IUPAC | |
| N CAS | 7783-82-6 |
| N EINECS | 232-029-1 |
| Apparence | Gaz incolore liquide jaune pâle sous 17 °C Cristaux blancs sous 2 °C |
| Propriétés chimiques | |
| Formule brute | F6W |
| Masse molaire | 297,83 ± 0,01 g·mol |
| Propriétés physiques | |
| T° fusion | 2,3 °C |
| T° ébullition | 17,1 °C |
| Solubilité | se décompose dans l'eau |
| Masse volumique | 3,430 kg·l (liquide, 17,1 °C) |
| Pression de vapeur saturante | 1,132 bar à 20 °C 1,6 bar à 30 °C |
| Précautions | |
| Directive 67/548/EEC | |
 T+ |  C |
| Phrases R : 26, 35, |
| Phrases S : 9, 26, 36/37/39, 45, |
| Transport |
| 268 |
| 2196 |
| Écotoxicologie | |
|---|---|
| CL | 1350mg/m3 (souris, inhalation) |
| Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire. | |
L'hexafluorure de tungstène est un composé chimique inorganique de formule brute WF6. Cet hexafluorure est un gaz incolore au conditions naturelles de température et pression, c'est-à-dire sous une pression de 1 atm et à température ambiante. Avec une densité d'environ 10,3 (par rapport à l'air), c'est même aux conditions normales, un des gaz les plus lourds connus. Il est, à titre d'exemple, 11 fois plus lourds que l'air.
Le WF6 est utilisés le plus souvent pour la production de certains circuits électroniques et plus précisément au cours de procédés de dépôts chimiques en phase vapeur dans le but de produire une couche de tungstène métallique ou de siliciures de tungstène. Cette couche à faible résistivité permet ensuite les interconnexion.