L'oxyde de béryllium peut être obtenu par calcination du carbonate de béryllium BeCO3, par déshydratation de l'hydroxyde de béryllium Be(OH)2, ou encore par combustion du béryllium métallique :
BeCO3 → BeO + CO2
Be(OH)2 → BeO + H2O
2 Be + O2 → 2 BeO
A l'air libre, la combustion du béryllium métallique donne un mélange d'oxyde BeO et de nitrure Be3N2.
A noter que, contrairement aux oxydes des autres éléments de la même colonne, BeO est amphotère et non basique.
L'oxyde de béryllium est inerte à haute température (plus de 800 °C) mais peut être dissous dans le difluorure d'ammonium [NH4](HF2) aqueux ou dans une solution d'acide sulfurique H2SO4 concentré et de sulfate d'ammonium [NH4]2(SO4).