La maîtrise de français langue étrangère a été créée dans les universités françaises par arrêté du 25 janvier 1983, renouvelé par les arrêtés du 9 février 1993 et du 30 avril 1997.
La mise en place du système LMD a entraîné sa disparition. La plupart des universités habilitées à délivrer la maîtrise FLE préparent des masters professionnels ou de recherche dont la première année (M1) a un parcours inspiré de l'ancienne maîtrise FLE.