Hexafluorure de tungstène - Définition

Hexafluorure de tungstène
Général
Nom IUPAC
No CAS	7783-82-6
No EINECS	232-029-1
Apparence	Gaz incolore liquide jaune pâle sous 17 °C Cristaux blancs sous 2 °C
Propriétés chimiques
Formule brute	F6W
Masse molaire	297,83 ± 0,01 g·mol-1
Propriétés physiques
T° fusion	2,3 °C
T° ébullition	17,1 °C
Solubilité	se décompose dans l'eau
Masse volumique	3,430 kg·l-1 (liquide, 17,1 °C)
Pression de vapeur saturante	1,132 bar à 20 °C 1,6 bar à 30 °C
Précautions
Directive 67/548/EEC
T+ C
Phrases R : 26, 35,
Phrases S : 9, 26, 36/37/39, 45,
Transport
268    2196
Écotoxicologie
CL	1350mg/m3 (souris, inhalation)
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire.

L'hexafluorure de tungstène est un composé chimique inorganique de formule brute WF₆. Cet hexafluorure est un gaz incolore au conditions naturelles de température et pression, c'est-à-dire sous une pression de 1 atm et à température ambiante. Avec une densité d'environ 10,3 (par rapport à l'air), c'est même aux conditions normales, un des gaz les plus lourds connus. Il est, à titre d'exemple, 11 fois plus lourds que l'air.

Le WF₆ est utilisés le plus souvent pour la production de certains circuits électroniques et plus précisément au cours de procédés de dépôts chimiques en phase vapeur dans le but de produire une couche de tungstène métallique ou de siliciures de tungstène. Cette couche à faible résistivité permet ensuite les interconnexion.