1920 : Algol. Eine Tragödie der Macht, film muet de Hans Werkmeister ;
1923 : Metropolis, film muet de Fritz Lang ;
1924 : Orlacs Hände, film muet de Robert Wiene (Les mains d'Orlac) ;
1928 : Alraune, film muet de Henrik Galeen ;
1929 : Frau im Mond, film muet de Fritz Lang (La Femme sur la Lune) ;
1930 : Alraune, film parlant de Richard Oswald (Mandragore) ;
1932 : F.P. 1 antwortet nicht, film parlant de Karl Hartl sur un scénario de Curt Siodmak (F.P.1 ne répond plus) ;
1933 : Der Tunnel, film parlant de Kurt Bernhardt d'après le roman éponyme de Bernhard Kellermann paru en 1913. Ce film connut également une version française avec Jean Gabin et Madeleine Renaud ;
1934 : Gold, film parlant de Karl Hartl (Or) ;
1934 : Der Herr der Welt, film parlant de Harry Piel ;
République fédérale allemande (1949-1990)
1948 : Der Herr vom anderen Stern, film de Heinz Hilpert (L'homme venu d'une autre étoile), d'après la nouvelle éponyme de Werner Illing ;
1967 : Herrliche Zeiten im Spessart, film de Kurt Hoffmann (De merveilleux moments dans le Spessart) ;
1970 : Die Delegation, téléfilm de Rainer Erler (La Délégation) ;
1973 : Welt am Draht (Le Monde sur le fil), téléfilm en deux parties de Rainer Werner Fassbinder, d'après le roman The Thirteenth Floor de Daniel F. Galouye ;
1977 : Operation Ganymed téléfilm de Rainer Erler (diffusé en salle en 1980 sous le titre Helden – Verloren im Staub der Sterne, Héros — Perdus dans la poussière des étoiles). Ce film obtint le prix du « Meilleur film de l'année » au festival de Trieste ;
1984 : Das Arche Noah Prinzip, film de Roland Emmerich (Le principe Arche de Noé);
1986 : Xaver und sein außerirdischer Freund, film de Werner Possardt (Xavier et son ami extra-terrestre);
1989 : Moon 44, film de Roland Emmerich ;
1990 : Es ist nicht leicht ein Gott zu sein, film de Peter Fleischmann (Un Dieu rebelle).
République démocratique allemande (1949-1990)
La République démocratique allemande disposait des studios de Potsdam-Babelsberg gérés par la Deutsche Film AG, abrégé en DEFA. La grande période de la science-fiction cinématographique est-allemande se situe entre les années 1960 et 1970. Après cette période, la DEFA ne produit plus de films notables. Les films de science-fiction les plus marquants de l'histoire du régime socialiste sont :
1960 : Der schweigende Stern de Kurt Maetzig (La planète silencieuse). Ce film obtint l' « Astronef d'or » du festival de Trieste en 1964 ;
1961 : Der Mann mit dem Objektiv de Frank Vogel (L'homme à l'objectif) ;
1970 : Signale. Ein Weltraumabenteuer de Gottfried Kolditz (Signaux. Une aventure dans l'espace) ;
1972 : Eolomea de Hermann Zschoche (Eolemea) ;
1976 : Im Staub der Sterne de Gottfried Kolditz (Dans la poussière des étoiles) ;
1985 : Besuch bei Van Gogh de Horst Seemann (Visite chez Van Gogh) ;
Après la réunificiation
1990 : Der achte Tag, film de Reinhardt Münster (Le Huitième Jour) ;
2002 : Das Jesus Video, téléfilm en deux parties de Sebastian Niemann, d'après le roman éponyme de Andreas Eschbach (Jésus video).
2004 : (T)Raumschiff Surprise – Periode 1, film de Michael Herbig qui parodie la saga américaine Starwars, avec des personnages tirés de la série Star Trek (dont le titre allemand était Raumschiff Enterprise)
2009 : Cargo, un film suisse de Ivan Engler et Ralph Etter
Hollywood et les réalisateurs allemands
Si Wolfgang Petersen signe le film Enemy en 1985 et Volker Schlöndorff The Handmaid's Tale en 1990, le réalisateur allemand de science-fiction qui a tiré le meilleur parti des superproductions américaines est sans aucun doute Roland Emmerich, né à Stuttgart en 1955. Il assimile rapidement les codes du cinéma américain et réalise des films qui deviendront souvent des blockbusters.
1985 : Enemy, film de Wolfgang Petersen ;
1990 : La Servante écarlate (The Handmaid's Tale), film de Volker Schlöndorff ;
1992 : Universal Soldier, film de Roland Emmerich ;
1994 : Stargate, la porte des étoiles, film de Roland Emmerich ;
1996 : Independence Day, film de Roland Emmerich ;